微机电系统（MEMS）是指用微机械加工技术制作的包括传感器/微致动器/微能源/等微机械基本部分以及高性能的电子集成线路组成的微机电器伴与装置
主体构造特点
设备包括 设备主体、电气控制部分、显影清洗槽等，并提供与厂务供电、供气、供水、排废水、排气系统配套的接口等
主体 设备主体使用德国劳士林10mm瓷白PP
骨架 SUS304+PP德国劳士领板组合而成
安全门 设备安装高透明PVC上下推拉安全门，分隔与保护人员安全，边缘处设备密封条
工艺槽 模组化设计，放置在同一个承漏底盘中，底盘采用满焊接工艺加工而成，杜绝机台的渗漏危险
管路系统 位于设备下部，所有工艺槽、管路、阀门部分均有清晰的标签注明，药液管路采用劳士林PP管，纯水管路采 用积水CL-PVC管，废液可通过专用管道排放
电气保护 电气控制、气路控制和工艺槽控制部分在机台顶部电控区，电气元件有充分的防护以免腐蚀以保障设备性能运行稳定可靠
水气枪 机台前部配备有PP纯水枪和PP CDA枪各一只置左右两侧，水枪滴漏活水设计，方便操作员手工清洗槽体或工件
机台支脚 有滑轮装置及固定装置并加防腐座，并且有高低调整及锁定功能
安全保障 完善的报警和保护设计，排风压力、液位、排液均有硬件或软件互锁，直观的操作界面，清晰的信息提示，保障了生产、工艺控制和安全性三色警示灯 置于机台上方明显处
设备制造：江苏英思特半导体科技有限公司