项目 数据
适用对象：石英炉管 ∅≦480mm*L3500mm,1件/Batch
基本规格：1.机台封面 聚丙烯磁白PP板材（厚度≧10mm）
2.机台主机强度结构 整体骨架表面喷涂处理
3.机台视窗 透明、抗静电之聚氯乙烯PVC（厚度≧5mm）
选配模块：1二流体内部喷流蚀刻、清洗系统
2全自动烘干系统
3循环多重过滤系统
机台特点：1设备药液的添加均通过自动供液系统统一补给
2管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杆导轨等关键核心部件均采用进口标准产品，配置模组化，维护保修便利， 非期货库存品工厂内均建立安全存量
3系统单元高稳定、高定位、高可调性
4作业区内酸碱气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身安全
5客制化设计能力佳，高设计能力满足客户制程工艺需要
6位于设备外部的化学品管路管材须用双套管，双套管管材采用PFA外包硬透明PVC，设备内部化学品管路采用PFA 单 层管
机械臂装置：Robot的工艺路劲种类 N种（设备出厂前载入PLC内）
机械手传送定位精度 ≦0.3mm
机械手传动预估速度 垂直升降速度不小于4000mm/min，水平移动速度不小于6000mm/min
制程控制：PLC控制方式
设备制造：江苏英斯特半导体科技有限公司