项目 数据
基本规格 1几台封面 聚丙烯磁白PP板材（厚度≧10mm）
2机台主机强度结构 整体骨架表面喷涂处理
3机台视窗 透明、抗静电之聚氯乙烯PVC（厚度≧5mm）
选配模块 1采用CGB专利技术旋转式或静置式加工大件与腐蚀液的接触面
2采用纯水隔离式或风帘隔离式可选
3更全面的全自动烘干系统
4可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理
机台特点 1全程自动控制，工艺生产过程中不用人工干预，保证产品性能的一致性
2腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性
3可根据需要定时补充槽体药液和置换药液
4QDR冲洗模块非常见排序式，可根据制程工艺设定
5更全面的全自动烘干系统
6多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储
7管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杆导轨等关键核心部件均采用进口标准产品，配置模组化，维护便利， 非期货库存品工厂内均建立安全存量
8作业区内酸碱气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身安全
9客制化设计能力佳，高设计能力满足客户制程工艺需要
机械臂装置：1Robot的工艺路径种类 N种（设备出厂前载入PLC内）
2机械臂走向 ‘右进左出’或‘左进右出’
制程控制 PLC控制方式
设备制造：江苏英斯特半导体科技有限公司