主要功能:本设备主要手动/自动搬运方式,通过对片盒化学液体浸泡、冲洗、漂洗、鼓泡、快排等方式进行处理,从而达到一个用户要求的效果
设备组成:该设备主要由清洗部分、抽风系统及电控部分组成
设备描述:此装置是一个手动的处理设备
设备前上方有各阀门,工艺流程的控制按钮、指示灯、触摸屏(PROFACE/OMRON)等,操作方便
主体材料:德国进口10mmPP板,优质不锈钢骨架,外包3mmPP板防腐
台面板为德国10mmPP板
DIW管辂及构件采用日本进口clean-PVC管材,需满足18MW去离子水水质要求
采用生产加工,焊接组装均在万级净化间内完成
排风:位于机台后上部
工作照明:上方防酸照明
安全考虑:1设有EMO(急停装置) 2强电弱点隔离 3所有电磁阀均高于工作槽体工作液面
4设备排风口加负压检测表 5设备三层防漏、,漏盘倾斜、漏液报警、,设备整体置于防漏托盘内
设备制造：江苏英思特半导体科技有限公司